第94章 光刻机比想象的容易

    

    光刻机很难。

    真的非常非常难。

    难度系数是氢弹的十倍。

    哪怕倾举国之力都不可能在短期内拿得下。

    以上这些，是经常充斥在卫明耳边的话，听得他几乎耳朵长茧。

    真的有那么难么？

    这些天，亲自进入研发工厂，了解透了光刻机的工作原理，在“老板工作间”内，利用体内的小黑，轻松打磨出几十个合格的高精密零件，以及20块的“锅盖”镜片——每块“锅盖”镜片，由四十层玻璃叠加而成，表面凸起不得超过1纳米。

    “很简单么，好像没什么难的。”

    看着面前成批成批的精度完全合格的零件，卫明撇了撇嘴说道。

    “到底难在了什么地方？”

    “光源发生器非常难。”

    蒲伟才说道：“要制造出波长13.5纳米的极紫外光，必须要用193纳米波长的深紫外光，击打自由落体的金属锡滴，而且要在极短的时间内，连续击中锡滴两次，每秒重复5万次，才能产生足够强度的极紫外光。”

    要知道金属锡滴的直径只有二十微米。

    自由落体的过程中，不仅要被激光击中，由水滴状摊平成圆饼状，再进行第二次击打，才能击发出最强烈的极紫外光……整个过程，完全是动态中发生的，如同用绣花针击中苍蝇，而且是连续两次。

    并在一秒内，重复五万次这套操作。

    “你不是说已经解决了光源问题了么？而且能源利用率达到了5%？”卫明不解的道。

    “光源是解决了，是因为我用的击打光源，是用特殊晶体击发出的132纳米光，能量利用率肯定比193纳米光高的多，但是要想制造强度足够的13.5纳米波长的极紫外光，还是得通过击打锡滴的方式达到，这是唯一可行的路径。”

    “也就是说，你们只搞定了击打光源，然后就说搞定了光源……这两个不是一码事吧？”

    卫明眉头皱了起来。

    “卫总，我们不是搞虚假宣传，可是长期的科学研究，如果没有点成果的话，谁会关注我们，上面怎么给我们拨款？所以哪怕只是部分突破，也得重点宣传一番。”

    一旁的向广林解释说道。

    “其实我们正在攻克的最后一项难题，就是锡滴的击打频率问题。”

    蒲伟才也道：“我们已经解决了连续击打问题，但每秒最多重复5000次，不过我们的能量利用率更高，只要能做到每秒重复2万次，就能得到足够使用的光照强度了。”

    “所以我们的能量利用率不是没有意义，每秒2万次比每秒5万次，要明显容易实现多了。”

    “每秒2万次……”

    卫明沉吟了一下，道：“还缺什么条件，阻止你们达到这个频率？”

    “精度，控制系统的精度。”

    蒲伟才说道：“如同一个时钟，同时精确掌控2万滴锡滴的自由下落，以及4万次的击打，时间上，每秒内的误差，不得超过十亿分之一秒；距离上，每秒不能超过1纳米，并且还要设计一套‘偏差纠正’系统，只要误差累积过大，就会自动纠正，让系统长期稳定的运转下去。”

    “目前我们正在全力攻克控制系统，纠偏系统稍稍靠后，但也安排了团队进行攻关。”

    “当然如果从岛国进口的相关零件，很快能到我们手中，可能三个月内，我们就能实现击打频率突破2万次。”

    岛国？

    三个月？

    卫明摇头笑了笑，道：“缺什么零件，就交给我吧，我给你们捣鼓出来。”

    接着他连续捣鼓了三天时间。

    激光频率控制器。

    高灵敏距离感应器。

    还有这个什么器，那个什么装置，卫明叫不出什么专业名称的东西。

    三天内卫明一共搞了十几个。

    然后让蒲伟才他们，把这些装置，塞入到了控制系统中，以极高精度要求，组装到了一起。

    再开启了试运行。

    “释放锡滴，初始频率每秒1滴。”蒲伟才进行指挥说道。

    “开始释放！”

    “两次击打成功，摊平形状完美，激发效果完美！”

    “增加释放频率。”

    “每秒50次试验成功。”

    “每秒500次试验成功！”

    “每秒5150次试验成功！追平最高纪录。”操作员声音微颤的道。

    “继续增加！往上加高一点！”

    蒲伟才也开始激动了，这才第一次进行调试而已，居然就追平了上一套零件不断调试数百次创造的最高纪录？

    “每秒5500次试验成功，已经创造新的纪录！”

    “再加！”

    每秒7000

    每秒9000

    每秒1万

    ……

    一直加到每秒2万，满足使用频率要求。

    所有人都被震惊到麻木，依然是取得成功！

    “再加，再往上加！”

    每秒3万

    每秒4万

    每秒4万5

    每秒5万！

    “锡滴释放频率达到上限，特么还是取得成功！”操作员毫无形象的狂喊。

    “转化光强是额定光强的2.5倍！”

    向广林眼睛通红的大吼道：“这意味着这台光刻机处理晶元的效率，至少艾思迈euv的两倍以上，我们一台，能顶他们两台！”

    “你们别叫！”

    蒲伟才高高挥起了后，盯着持续时间后的数据，极力压制情绪的说道：“看看每秒5万滴锡滴，每秒10万次击打的情况下，这个系统能稳定工作多长时间？你们别吵，你们的噪音，可能影响它的发挥。”

    所有人都安静了下来。

    屏住了呼吸。

    目光都死死盯上了持续时间。

    5分钟

    15分钟

    第29分38秒

    由于累积误差越来越大，没有纠偏系统进行纠正，整个系统终于自动停止了运动。

    啪！

    蒲伟才右拳用力轰击自己左掌，满脸涨红的说道：“3分钟就足够了，原本只要3分钟，就不用配套设计非常复杂的纠偏系统了，没想到它坚持了足足半个小时！我们只要设计一套非常简单的纠偏系统，就能让它长期稳定的工作了，整个系统的复杂度至少能降低10%，给我们省下大量的时间！”

    “太厉害了，太神奇了！”

    作为项目负责人，他自己开始大呼小叫：“光源问题彻底解决了，双工台现成就有，镜头完全能用，我们的euv光刻机，完成度至少超过90%！”

    “我们完全看到胜利的希望了！”

    说着，他泪如坝崩，几欲捧面大哭一场。

    毕竟十几年了，这一次，他是真的看到希望了，就在他的面前，已经触手可及。

    见他如此，跟他一个团队的其他成员，也都擦着眼角，发出呜呜的声音。

    “还没真成功呢，眼泪不如留到庆功宴。”

    一个略有些扫兴的声音传来。

    却听卫明说道：“蒲博士，刚才你还一脸抗拒的样子，怀疑我打磨过的东西不能用，现在呢？信我说的话了吧，零件问题，对我公司不是个问题，你说的技术难点，感觉也不怎么难。”

    “没错没错。”

    擦了把眼泪的蒲伟才，露出一张童真笑脸：“卫总你说的没错，只要卫总出马，光刻机，完全没有任何什么难点，我相信在卫总的带领下，我们能解决一切技术问题！”他这次是真心服了，眼里只有崇拜。

    “没错，完全多亏了卫总。”

    “卫总辛苦了，给卫总捶捶肩。”

    “卫总的神级打磨，能创造工业上的奇迹！”

    “卫总才是最大的功臣，感谢卫总。”

    又一波的马屁声覆盖而来。

    这一次，蒲伟才不仅没有咳嗽制止，自己反而是里面拍的最厉害的那个。

    当然，马屁听一小会就够，卫明让他们马上投入到工作中，继续寻找问题，解决问题，直到没有任何问题为止。